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周三，受工信部发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》重大利好刺激，光刻机概念股全线暴涨。其中，龙头股张江高科开盘一字涨停，此外，波长光电和同飞股份20CM涨停。截至收盘，光刻机概念板块暴涨4.51%，共计7只个股涨停，15只个股涨超5%。

催化事件具体情况:上述《指导目录》将国产KrF氟化氢光刻机（照明波长248nm、分辨率110nm）以及ArF氟化氩光刻机（照明波长193nm、分辨率65nm）(二代光刻机)列于其中。而按此前印发的《中国首台（套）重大技术装备检测评定管理办法（试行）》中的定义:中国首台（套）重大技术装备，是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。综合,此前有消息称,上海微电子正致力于研发28纳米浸没式光刻机(三代光刻机),预计年底推出第一台国产SSA/8-10W光刻机.

据此,我们可以推测,《指导目录》中提到的二代光刻机,是国内已经突破的技术,且拥有自主知识产权的,不受制裁影响的国产光刻机,正待投入国内市场,实现该档次光刻机的国产替代.由于上海微电子三代正在测试中代表着二代已经成熟,由此可知生产机构就是上海微电子.而涨江高科持有上海微电子10.779%的股份.

此文之前,我们已经梳理过光刻机产业链,如下表:

核心标的概念解析:

张机高科 6895:公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子装备有限公司22,345万元人民币，持有微装公司10.779%的股权，后续公司未实施增资。公司投资上海微电子装备、华勤通讯为代表的一批集成电路优质企业，实现“中国芯”国产光刻机的重大突破。

奥普光电 2338:公司控股股东中科长春光机所承担EUV光刻机研发任务，已取得包括核心光源系统在内的多项突破，公司是旗下唯一上市公司。

波长光电 301421:2023年8月25日互动易回复：在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学 镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。

同飞股份 3990:2023年半年报：公司液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。

海立股份 6619:海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。

凯美特气 2549:2023年半年报：控股子公司凯美特电子特种稀有气体有限公司光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证。

京华激光 603607:公司控股的美国菲涅尔制版科技公司是一家多年从事微结构光学技术研发及相关设备制造和维护的企业，在微结构光学方面具有较强的研发实力，尤其在全息光学、菲涅尔猫眼、水晶微结构、浅纹微结构、铂金浮雕等方面研发成果突出，先后研发出多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机设备，并在全球范围内独家供应公司使用。