据Gartner估计，到2027年，在中国28纳米以上成熟制程节点（包括传统制程节点）半导体制造中，来自国内厂商的关键原材料和关键晶圆制造设备的数量比例将超过50%，之前有专家说存量思维，28纳米实际可满足95%以上车规级别跟公规级别的应用，像车联网、智慧城市等，所以接下大基金对接的项目或者举国体制优先要突破大概率是28纳米的光刻机量产

根据“02专项计划”，我国光刻机研发工作亦采用类似“Out House”的研发模式，上海微电子负责整机的设计与集成，另有五家企业各自负责对光刻机不同核心零部件的研发。上海微电子IC前道制造光刻机能实现90nm芯片量产，目前在攻克28nm光刻机。也别小看了90nm的工艺制程，WiFi芯片、LCD驱动芯片、电源管理芯片、射频芯片、各种数模混合电路等等都是90nm光刻机制造。

上海微电子涉及的上市公司有张江高科、金力泰

张江高科（600895）张江高科通过全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子装备(集团)股份有限公司10.779%股权，为其第四大股东。

金力泰（300225）公司控股子公司上海金杜新材料向上海微电子提供应用于其产品零部件的表面处理服务。

五家承担核心零部件研发企业，均与中国顶尖高校联系紧密，代表着中国最顶尖的半导体研发实力。

这五家企业分别是：

1、北京科益虹源

北京科益虹源光电技术有限公司成立于2016年7月，主营光刻机光源系统，拥有准分子激光技术研究、产品开发的能力。光源则是高端光刻机另一核心部件，光源波长决定了光刻机的工艺能力。

在企业工商平台可以看到，北京科益虹源第一大客户为持股37.5%的中国科学院微电子研究所。公司的研发基地在北京亦庄，北京亦庄国投也是持股股东。

2、北京国望光学

北京国望光学科技有限公司成立于2018年，经营范围包含光刻机曝光光学系统、高端镜头、光电仪器与装备、光学加工与检测设备等。国望光学在光刻机产业链的定位是物镜系统供应商。高端光刻机含有上万个零部件，而光学镜片则是核心部件之一。高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力，重要性不言而喻。

目前，北京亦庄国际投资发展有限公司持股国望光学约66.67%，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所持股国望光学约14.67%。

麦克奥迪（300341）公司实际控制人北京经济技术开发区管理委员会，亦庄国投则是北京经济技术开发区100%控股的投资平台，间接控股国望光学，可以说是同一个爷爷，另外值得注意的是北京经济开发区也间接持股科益虹源。麦克奥迪本身是国内光学行业显微镜领域的领先企业，是全球光学显微镜领域的知名品牌之一。

3、长春国科精密

长春国科精密光学技术有限公司成立于2014年，总部位于吉林省长春市，在上海设有投影光刻照明系统研发事业部。

目前，长春国科精密由长春净月创业投资有限公司100%持股。值得一提的是，长春国科精密与北京国望光学的法定代表人，均为长春光机所所长助理孙守红。

长春光机所是中科院最大的研究所，先后孕育出了西安光机所、上海光机所、成都光机所等科研机构。

据长春国科精密官网，目前，长春国科精密作为“国家科技重大专项02专项”支持的唯一高端光学技术研发单位，正在承担NA0.82、NA1.35等多种类型高端IC制造投影光刻机曝光光学系统的技术研发及产业化推进工作。

奥普光电（002338）实际控制人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,主营光机电一体化产品。

福晶科技（002222）实际控制人中国科学院福建物质结构研究所，公司曾通过欧洲代理向ASML销售少量光学元件，目前份额不大。

4、北京华卓精科

华卓精科成立于2012年，主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括光刻机双工件台及其衍生产品超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备等。

华卓精科的科创板IPO申请获得上交所受理，但这一IPO流程已被中止。根据上交所官网，中止原因是华卓精科发行上市申请文件中记载的财务资料已过有效期，需要补充提交。

在华卓精科递交的招股书中可以看到，其光刻机双工件台产品的重要客户，正是上海微电子。

5、浙江启尔机电

浙江启尔机电技术有限公司成立于2013年，主要研发、生产和销售高端半导体装备超洁净流控系统及其关键零部件。启尔机电前身是浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队。

其余涉及二级市场配套光刻机的上市公司整理：

茂莱光学（688502）公司产品可用于生命科学、半导体、虚拟现实、航空航天等多个领域。公司作为国内极少数能为光刻机、基因测序仪等高端仪器提供光学元件的企业，技术积淀深厚，市场地位稀缺。公司可为半导体检测设备提供高精度镜头、光学系统，同时掌握光刻机曝光物镜超精密光学元件加工技术，DUV光学透镜已经在给上海微电子供货。

炬光科技（688167）公司为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器，是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商，同时也为多家行业知名半导体集成电路设备科研和生产机构提供相关产品。

蓝英装备（300293）公司瑞士子公司UCM AG自2008年开始与ASML（荷兰光刻机制造商阿斯麦公司）开展合作，目前UCM AG为ASML及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备。2019年公司对该等客户实现的营业收入占公司2019年度营业收入的1.90%，占比较小，对目前公司业绩不会产生重大影响。