每经记者：叶峰 每经编辑：肖芮冬

半导体设备概念股大涨，中科飞测涨超6%，拓荆科技涨超5%，北方华创、华海清科、长川科技涨超3%。

受重仓股上涨影响，跟踪中证半导体材料设备主题指数的ETF普涨逾2%。

中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

有机构认为，半导体设备零部件的增长来源于两个方面，一是层出不穷的创新如AI、智能穿戴带动半导体市场不断增长，从而拉动半导体设备零部件市场。二是出于供应链安全的考虑，提高国内半导体设备零部件的国产替代率已成为战略目标。在这种背景下，半导体设备零部件市场必将迎来飞速增长，相关企业也将进一步 获得资本市场关注。